Język / Language: Wersja Polska English Version

VELION, produkt firmy Raith - nanowytwarzanie przy pomocy centrycznej kolumny FIB. Cztery tryby pracy. Dwie kolumny. Jeden system.

VELION to nowatorski instrument FIB-SEM, w którym nano wytwarzanie za pomocą wiązki skupionych jonów (FIB) rozwinęło się w standardową technologię wytwarzania trójwymiarowych i wysokorozdzielczych nanostruktur, takich jak urządzenia plazmoniczne, systemy nano przepływowe, zlokalizowana implantacja i funkcjonalizacja. 

VELION umożliwia: 

• Bezpośrednie i uniwersalne wytwarzanie wzorów przy zastosowaniu skupionej wiązki jonów (FIB) dla uproszczonego, elastycznego, trójwymiarowego i automatycznego przetwarzania 

• Najwyższą precyzję i powtarzalność nano wytwarzania na wydłużonych obszarach i okresach czasu 

• Obrazowanie SEM do kontroli procesu in-situ, inspekcji i przygotowania próbek 

W unikalnym układzie centrycznej kolumny FIB wraz z dostosowaną kolumną FE-SEM i bardzo precyzyjnym stolikiem ze zintegrowanym interferometrem laserowym, możliwe są cztery różne tryby pracy. 

Nano wytwarzanie za pomocą skupionej wiązki jonów (FIB) 

Szybsze osiąganie wyników, poprzez eliminację czasochłonnych i ograniczających wydajność etapów procesu litografii, takich jak wytrawianie nowych i wymagających materiałów. Bezpośrednia obróbka i wytrawianie są możliwe do tworzenia struktur 3D, nawet na próbkach topograficznych i rozproszonych na dużych obszarach. 

Przygotowanie próbek 

Można przygotować próbki do elektronowego mikroskopu transmisyjnego (TEM) za pomocą obróbki skupioną wiązką jonów (FIB) i kontroli na żywo za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) in-situ. 

Kontrola procesu 

Można sprawdzić rozwój procesu i wyniki in-situ. Dzięki zaawansowanym ustawieniom stolika, kolumnie SEM o wysokiej rozdzielczości i automatycznej metrologii, sterowanie procesem może być wykonywane bezpośrednio dla szybkiej optymalizacji parametrów. 

Litografia wiązką elektronów (EBL)

Można wykorzystać nieograniczone możliwości połączenia FIB i SEM w jednym urządzeniu. Aplikacje EBL są również możliwe dzięki funkcjom obejmującym zaawansowaną kontrolę parametrów, automatyczne skanowanie i korekcję efektu sąsiedztwa. 

Zapraszam do odwiedzenia strony producenta https://www.raith.com/velion.html