Automatyka i wydajność: Raith wprowadza nowe urządzenie do elektronolitografii

Wielkość zogniskowanej wiązki elektronów (rzędu jednego nano metra) umożliwia wykorzystanie  elektronolitografii do badań w nanotechnologii. Ta technika jest również stosowana do wytwarzania urządzeń zawierających nanostruktury.

Firma Raith jest znana jako jeden z głównych dostawców urządzeń do elektronolitografii. Systemy EBPG firmy Raith stosowane są w wiodących ośrodkach badawczych i laboratoriach takich jak Graphene Centre w Manchesterze czy IBM w Szwajcarii.


Raith z dumą ma przyjemność ogłosić rozszerzenie swojej oferty o nowe urządzenie: EBPG5150.
To nowe narzędzie do elektronolitografii klasy 100kV powstało w oparciu o ponad 45-letnie doświadczenie firmy w tej dziedzinie. Posiadając gwarantowaną rozdzielczość poniżej 8nm oraz zdolność naświetlania wzoru o obszarze 1mm z ultra wysoką rozdzielczością, może być użyte do wytworzenia dużych urządzeń bez łączenia w całym cyklu procesu, w pełni zautomatyzowanym trybie pracy. Nie ma konieczności manualnej ingerencji w czasie procesu od załadowania próbek przez automatyczną śluzę powietrzną do momentu, gdy próbka zostanie usunięta. Co więcej, system ten jest bardzo ustawny. Potrzebna powierzchnia do ustawienia urządzenia, zapewniająca łatwy dostęp do wszystkich istotnych modułów serwisowych, wynosi mniej niż 18 metrów kwadratowych.

 

EBPG5150

Zdjęcie 1 –EBPG5150

 

Urządzenia EBPG do elektronolitografii instalowane są zarówno w uniwersyteckich zaawansowanych centrach nanotechnologicznych jak i przemysłowych zakładach produkcyjnych na całym świecie.

Jeden z przykładów zastosowania do badań naukowych (Yale University) został przedstawiony na zdjęciu 2. Pokazane urządzenie (z bramką CNOT na środku) składające się z: pierścieniowych rezonatorów, nadprzewodnikowych nano drutowych detektorów pojedynczych fotonów, złączek, nano elektromechanicznych przesuwników fazowych oraz innych funkcji – zostało stworzone w sześciu etapach litografii, w tym czterech za pomocą wiązki elektronów. Takie fotoniczne chipy stosowane są w badaniach obliczeń kwantowych z fotonów. Prace te w dłuższej perspektywie mogą przyczynić się do powstania złożonych komputerów kwantowych.

 

Zdjęcie 2 – z Yale University, zdobywcy nagrody w konkursie Raith’a Micrograph Award 2015

 

W przemysłowym zastosowaniu dobrze znane są urządzenia z serii EBPG powszechnie stosowane do wytwarzania elektroniki wysokich częstotliwości.

Sercem takiego przyrządu są specjalne struktury bramki  w kształcie litery T posiadające dolną część o szerokości poniżej 20nm pozwalającą im na działanie w zakresie do kilkuset GHz.

Istnieje niekończąca się lista możliwości zastosowań przyrządów wysokich częstotliwości w tym m.in. do testów i pomiarów, ultra-szybkiej komunikacji (komunikacja satelitarna) oraz radarów. W tym obszarze zastosowań urządzenia EBPG zapewniają automatyzację i wysoką wydajność procesów pozwalającą na produkcję tysiąca płytek rocznie z wysoką wydajnością.

 

Zdjęcie 3: mikro fotografia SEM “multi-finger air bridge high frequency device”