Połączenie mikroskopu jonowego z precyzyjną, łatwą i wydajną mikroobróbką

System VELION FIB-SEM  umożliwia obrazowanie FIB przy użyciu różnych rodzajów jonów, w tym litu.
Dzięki unikalnej konfiguracji z pionowo zamontowaną kolumną FIB, wiązka jonów litu, galu lub bizmutu jest zawsze prostopadła do powierzchni próbki. IONselect  oferuje możliwość niezawodnej i szybkiej zmiany jonów bez przechylania próbki.
W ten sposób próbkę można trawić i obrazować z największą precyzją i dokładnością. Wiązki bizmutu, galu i litu mogą być przełączane natychmiastowo i automatycznie, a następnie są aplikowane do próbki w celu mikroobróbki ciężkimi jonami bizmutu lub galu albo w mikroskopii stosując lekkie jony litu. Tomografia 3D w nanoskali z niezrównaną stabilnością i wiernością staje się możliwa.
Rozdzielczość głębokości i gładkość powierzchni można zaprojektować, wybierając spośród jonów galu lub bizmutu lub klastra Bi do mikroobróbki. Ponadto precyzja stolika kontrolowanego interferometrem laserowym umożliwia obrazowanie każdej warstwy dokładnie w tym samym miejscu. W ten sposób możliwe jest bardzo dokładne składanie pojedynczych obrazów w stosy, a tym samym tworzenie precyzyjnych modeli 3D próbki.
Tryb pracy wykorzystujący naprzemiennie jony bizmutu do szybkiego usuwania warstw próbek i litu do obrazowania można połączyć z precyzją stolika kontrolowanego interferometrem laserowym, aby uzyskać potężny mikroskop jonowy do obrazowania 3D.
Wykorzystanie platformy litograficznej do mikroskopii jonowej
System VELION FIB-SEM oparty jest na sprzęcie litograficznym firmy Raith z platformą litograficzną udoskonalaną przez dziesięciolecia. Poza specyficzną architekturą i zaletami wynikającymi z zastosowania stolika kontrolowanego interferometrem laserowym, inteligentne strategie tworzenia wzorów VELION gwarantują jednorodną mikroobróbkę próbki, niezależnie od jej wymagań.
Aby uzyskać więcej informacji na temat systemu VELION FIB-SEM z możliwościami mikroskopii jonowej, odwiedź stronę produktu VELION