Velion, produkt firmy Raith. Nano wytwarzanie przy pomocy centrycznej kolumny FIB Cztery tryby pracy. Dwie kolumny. Jeden system.

VELION to nowatorski instrument FIB-SEM, w którym nano wytwarzanie za pomocą wiązki skupionych jonów( FIB) rozwinęło się w standardową technologię wytwarzania trójwymiarowych i wysokorozdzielczych nanostruktur, takich jak urządzenia plazmoniczne, systemy nano przepływowe, zlokalizowana implantacja i funkcjonalizacja.

VELION umożliwia:

  • Bezpośrednie i uniwersalne wytwarzanie wzorów przy zastosowaniu skupionej wiązki jonów (FIB) dla uproszczonego, elastycznego, trójwymiarowego i automatycznego przetwarzania
  • Najwyższą precyzję i powtarzalność nano wytwarzania na wydłużonych obszarach i okresach czasu
  • Obrazowanie SEM do kontroli procesu in-situ, inspekcji i przygotowania próbek

W unikalnym układzie centrycznej kolumny FIB wraz z dostosowaną kolumną FE-SEM i bardzo precyzyjnym stolikiem ze zintegrowanym interferometrem laserowym, możliwe są cztery różne tryby pracy.

Nano wytwarzanie za pomocą skupionej wiązki jonów (FIB)

Szybsze osiąganie wyników, poprzez eliminację czasochłonnych i ograniczających wydajność etapów procesu litografii, takich jak wytrawianie nowych i wymagających materiałów. Bezpośrednia obróbka i wytrawianie są możliwe do tworzenia struktur 3D, nawet na próbkach topograficznych i rozproszonych na dużych obszarach.

Przygotowanie próbek

Można przygotować próbki do elektronowego mikroskopu transmisyjnego (TEM) za pomocą obróbki skupioną wiązką jonów (FIB) i kontroli na żywo za pomocą skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) in-situ.

Kontrola procesu

Można sprawdzić rozwój procesu i wyniki in-situ. Dzięki zaawansowanym ustawieniom stolika, kolumnie SEM o wysokiej rozdzielczości i automatycznej metrologii, sterowanie procesem może być wykonywane bezpośrednio dla szybkiej optymalizacji parametrów.

Litografia wiązką elektronów (EBL)

Można wykorzystać nieograniczone możliwości połączenia FIB i SEM w jednym urządzeniu. Aplikacje EBL są również możliwe dzięki funkcjom obejmującym zaawansowaną kontrolę parametrów, automatyczne skanowanie i korekcję efektu sąsiedztwa.

Zapraszam do odwiedzenia strony producenta https://www.raith.com/velion.html