Opis:

PIONEER – najlepsza technologia dla tego, co najlepsze z obu światów: elektronolitografia i obrazowanie w jednym systemie

PIONEER to idealne rozwiązanie dla wszystkich uniwersytetów i naukowców z takimi samymi wymaganiami zarówno dla systemu litografii wiązką elektronów, jak i analitycznego skaningowego mikroskopu elektronowego do obrazowania.

PIONEER, jako idealna hybryda EBL-SEM, integruje wszystkie składniki do profesjonalnego EBL i SEM w jeden kompletny system pod klucz. System zapewnia prawie nieograniczony obszar zastosowań nanolitograficznych, obrazowań i analitycznych.

Architektura systemu została zaprojektowana i wykonana ze szczególnym uwzględnieniem określonych budżetów badawczych w środowiskach uniwersyteckich. Jednocześnie PIONEER zapewnia gwarantowaną wydajność EBL w zakresie szerokości linii, łączenia pól (stitching) i nakładania obrazów (overlay).

W porównaniu z najnowocześniejszym mikroskopem SEM z generatorem wzorów, oferuje lepsze gwarantowane parametry litografii. Najnowsza technologia optyki elektronowej zapewnia najmniejszy rozmiar wiązki (<1,6 nm) na świecie w profesjonalnym systemie EBL. Pozwala to nie tylko na gwarantowaną bezpośrednią sub-8 nm nanolitografię, ale także obrazowanie i analizę SEM w ultra-wysokiej rozdzielczości rzędu 1 nm. Jest dostępnych 5 różnych (opcjonalnie) detektorów, które są odpowiednie do zastosowań w materiałoznawstwie i naukach przyrodniczych.

System zawiera 2?, o wysokiej precyzji stolik kontrolowany interferometrem laserowym do litografii dużej powierzchni i akwizycji obrazu. Unikalną opcjonalną funkcją tego stolika jest w pełni zintegrowany moduł do ciągłego obrotu (360 °) i nachylenia (0-90 °) próbki umożliwiający  wygodne obrazowanie na mikroskopie elektronowym.