Opis:

Piec dyfuzyjny BDF 41 z 4 horyzontalnymi rurami dla podłoży krzemowych o średnicy: od 100 do 200 mm
Sprawdzona niezawodność, najnowocześniejsza technologia termiczna, precyzyjne ładowanie, doskonała przepustowość, niski koszt eksploatacji.
Konfiguracja standardowa poniżej (dostępne również opcje):
Oprogramowanie nadzorujące: APEX
Niezależne od rury, sterowanie piecem
Stacja załadunkowa: poziomy przepływ laminarny (klasa 10)
Zakres temperatury: 400 ° C do 1325 ° C; 5 stref z 1-metrową płaską strefą; pik i profil sterowane termoparami z kontrolą +/- 0,5 stopnia i funkcją auto profilowania.
Wyciąg: oczyszczacz (indywidualny), piec (chłodzony wodą) i szafa źródłowa (ogólnie)
Szafa źródłowa: układ w kształcie litery L z oddzielnym korytarzem rurowym i gazami
Panele gazowe montowane pionowo