EVG40 NT Automatyczny system pomiaru dokładności centrowania
Producent:
EVGroup
Zastosowania:
Mikroelektronika półprzewodnikowa
Nanotechnologia
Kategoria:
Urządzenia do bondowania płytek krzemowych
Opis:
Wszechstronny, o dużej dokładności system pomiarowy parametrów litograficznych, takich jak wymiary krytyczne, a także dokładność centrowania bondowanych płytek.