Voyager

Opis:

Szybki, inteligentny, innowacyjny i ekonomiczny

VOYAGER – nowa klasa technologii litografii wiązkami elektronów

VOYAGER jest zalecany do wszystkich przemysłowych i akademickich zastosowań elektronolitografii, gdzie ważnymi celami są duża wydajność wytwarzania wzoru i maksymalna rozdzielczość. Oprócz nowo opracowanej, innowacyjnej architektury systemu eWRITE, Raith przywiązuje dużą wagę do atrakcyjnego stosunku ceny do osiągów przez cały okres eksploatacji systemu.

Sprzęt i oprogramowanie zostały konsekwentnie zaprojektowane z myślą o automatycznych operacjach naświetlania. Najnowocześniejszy wysokowydajny generator wzorców i optyka elektronowa zostały optymalnie dopasowane.

Próbki o wielkości do 8 cali są naświetlane z dużą prędkością. Ustabilizowana termicznie i odporna na środowisko obudowa zapewnia niezbędną stabilność systemu, nawet w trudnych warunkach.