Opis:

Kształtowanie przyszłości nanowytwarzania

EBPG Plus oferuje unikalne połączenie automatyzacji, modułowości i wydajności. Intuicyjny interfejs użytkownika oraz zautomatyzowany tryb pracy z opcjonalnym oprogramowaniem do wstępnego przetwarzania danych pomagają użytkownikowi skupić się na osiąganiu wyników zamiast na obsłudze systemu. Dzięki wielu różnym dostępnym uchwytom, EPBG Plus zapewnia bezkompromisową automatyzację bez ograniczeń dla podłoża krzemowego lub geometrii próbki. Co więcej, system litografii o wysokiej rozdzielczości można w dowolnym momencie rozbudować na miejscu zgodnie ze zmieniającymi się wymaganiami.
EBPG Plus umożliwia pracę w trybie wsadowym 24/7 przy minimalnym zaangażowaniu operatora, zapewniając stałe wysokie wyniki i wydajność.
EBPG Plus to wysokowydajny system litografii elektronowej o wysokiej rozdzielczości. Aby sprostać różnym wymaganiom każdego klienta, EBPG Plus jest dostępny w dwóch wersjach, z których każdą można dostosować. Model EBPG5200 Plus ma możliwość wytwarzania wzoru na podłożach do 200 mm i zapewnia najwyższą stabilność, podczas gdy model EBPG5150 Plus wykorzystuje tę samą uniwersalną platformę ze stolikiem 150 mm, odpowiednim do wszystkich zastosowań związanych z badaniami i rozwojem oraz produkcją złożonych półprzewodników.