EPBG5200, EPGB 5150

Opis:

Litografia o wysokiej rozdzielczości z automatyzacją, wydajnością i niezawodnością

EBPG to wysokowydajny system do litografii elektronowej. Ta sprawdzona w praktyce i bardzo udana seria osiągnęła teraz kolejny poziom ewolucyjny. Dzięki trybowi wytwarzania wzoru 100 kV i litografii o wysokiej rozdzielczości poniżej 5 nm, obejmuje szeroki zakres najnowocześniejszych zastosowań nanolitografii z bezpośrednim wytwarzaniem wzoru, branżowych badań i rozwoju oraz produkcji małoseryjnej w każdym rodzaju zakładu zajmującego się nano wytwarzaniem.

Aby sprostać zróżnicowanym wymaganiom każdego klienta, EBPG jest dostępny w dwóch wersjach, z których każdą można dostosować. EBPG5200 ma pełne możliwości wytwarzania wzoru 200 mm i doskonałe możliwości 3D, podczas gdy EBPG5150 wykorzystuje tę samą uniwersalną platformę cokołową ze stolikiem 150 mm, odpowiednią do wszystkich zastosowań badawczo-rozwojowych i produkcji złożonych półprzewodników.