PEO 601-604 piece procesowe z rurą kwarcową

Opis:

Szybko nagrzewający się, energooszczędny, programowany piec komorowy z rurą kwarcową do wielu zastosowań: LPCVD, dyfuzja, mokre/suche utlenianie, epitaksja, płukanie HCL, wyżarzanie w atmosferze azotu, argonu, wodoru, próżni, wypalanie past grubowarstwowych, ceramiki LTCC, procesy niskotemperaturowe: utwardzanie poliimidów, stapianie SiAu/SiAl/SiMo, mokre termiczne utlenianie na aluminium do VECSEL, lutowanie kontaktów podwyższonych, lutowanie rozpływowe, itd.

– Załadowanie pieca w temperaturze pokojowej – nagrzewanie – przeprowadzanie procesu – aktywne chłodzenie.
– Szybkie nagrzewanie do max. 100°C/min (partia) lub 20°C /s (pojedyncza płytka krzemowa).
– Szybkie chłodzenie: od 1000°C do poniżej 100°C w czasie poniżej 60 minut.
– Maksymalna temperatura w piecu 1150° C.
– Możliwa praca w różnych atmosferach gazowych (również w czystym wodorze), tlen poniżej 1ppm, próżnia do 5 x 10-6 mbar.
– Dla płytek krzemowych do 200 mm i podłoży o równoważnym wymiarze.