EVG105 Moduł wygrzewający

Opis:

Samodzielny moduł wygrzewający EVG®105 jest przeznaczony do procesów wygrzewania wstępnego lub po naświetlaniu.

W module EVG105 można wykonywać procesy wygrzewania wstępnego, po naświetlaniu i wygrzewania utwardzającego. Kontrolowane środowisko wygrzewania zapewnia równomierne odparowanie. Programowalne kołki zbliżeniowe zapewniają najlepszą dostępną kontrolę procesów utwardzania i profili temperaturowych. Moduł wygrzewania EVG105 może obsługiwać płytki krzemowe o rozmiarze do 300 mm lub do czterech podłoży krzemowych o rozmiarze 100 mm jednocześnie.

Cechy

  • Samodzielny moduł do wygrzewania
  • Płytki krzemowe do 300 mm lub do czterech płytek krzemowych 100 mm jednocześnie
  • Równomierność temperatury ≤ ± 1 ° C przy 100 ° C, temperatura wygrzewania do 250 ° C
  • Kołki ładujące do ręcznego i bezpiecznego załadunku / rozładunku podłoży krzemowych
  • Zegar
  • Podciśnieniowe mocowanie podłoża (bezpośrednie wygrzewanie kontaktowe)
  • Przedmuchiwanie N2 i wygrzewanie zbliżeniowe 0-1 mm odległość między podłożem a płytą grzewczą – opcjonalnie
  • Podłoża o nieregularnych kształtach