Opis:

Samodzielny moduł wygrzewający EVG?105 jest przeznaczony do procesów wygrzewania wstępnego lub po naświetlaniu.

W module EVG105 można wykonywać procesy wygrzewania wstępnego, po naświetlaniu i wygrzewania utwardzającego. Kontrolowane środowisko wygrzewania zapewnia równomierne odparowanie. Programowalne kołki zbliżeniowe zapewniają najlepszą dostępną kontrolę procesów utwardzania i profili temperaturowych. Moduł wygrzewania EVG105 może obsługiwać płytki krzemowe o rozmiarze do 300 mm lub do czterech podłoży krzemowych o rozmiarze 100 mm jednocześnie.

Cechy

• Samodzielny moduł do wygrzewania
• Płytki krzemowe do 300 mm lub do czterech płytek krzemowych 100 mm jednocześnie
• Równomierność temperatury ? ? 1 ° C przy 100 ° C, temperatura wygrzewania do 250 ° C
• Kołki ładujące do ręcznego i bezpiecznego załadunku / rozładunku podłoży krzemowych
• Zegar
• Podciśnieniowe mocowanie podłoża (bezpośrednie wygrzewanie kontaktowe)
• Przedmuchiwanie N2 i wygrzewanie zbliżeniowe 0-1 mm odległość między podłożem a płytą grzewczą – opcjonalnie
• Podłoża o nieregularnych kształtach