EVG120 Automatyczny system obróbki fotorezystu

Opis:

EVG®120 to kompaktowy, ekonomiczny system obróbki fotorezystu do rozpoczęcia produkcji, gdy przestrzeń w pomieszczeniu czystym jest ograniczona.

Nowe uniwersalne i w pełni zautomatyzowane narzędzie do obróbki fotorezystów EVG120 jest w stanie obsługiwać różne kształty i rozmiary podłoża do 200 mm / 8 „. Ta nowa generacja EVG120 jest dostępna w nowej, ultra kompaktowej konstrukcji z nowo opracowaną szafką chemiczną do zewnętrznego przechowywania chemikaliów, zapewniając jednocześnie zwiększoną przepustowość, zoptymalizowaną pod kątem potrzeb klientów z dużą produkcją i gotową do wykorzystania w produkcji wielkoseryjnej (HVM). EVG120 zapewnia użytkownikom rozbudowany zestaw korzyści, których po prostu nie ma w żadnym innym urządzeniu i gwarantuje najwyższy standard w różnych obszarach zastosowań przy niezwykle niskim koszcie eksploatacji.

Cechy

  • Rozmiary podłoży krzemowych do 200 mm
  • Ultra kompaktowa konstrukcja zapewniająca zajęcie minimalnej powierzchni
  • Do 2 komór do powlekania / wywoływania i 10 płyt grzejnych / chłodzących
  • Wszechstronne kombinacje wielofunkcyjnych modułów do powlekania obrotowego i natryskowego, wywoływania, wygrzewania i chłodzenia zapewniają ogromne możliwości w wielu dziedzinach zastosowań
  • Szafa chemiczna do zewnętrznego przechowywania chemikaliów
  • Opatentowana technologia atomizacji ultradźwiękowej OmniSpray® firmy EV Group zapewnia niezrównane wyniki procesu, jeśli chodzi o konformalne powlekanie ekstremalnych topografii
  • Obrotowa pokrywa CoverSpinTM zapewnia niskie zużycie rezystu i zoptymalizowaną jednorodność powłoki
  • Technologia mega dźwiękowa do czyszczenia, sono-chemiczne przetwarzanie i wywoływanie poprawiają wydajność procesu i skracają jego czas z godzin do minut
  • Zaawansowana i sprawdzona w praktyce obsługa robota z możliwością podwójnego efektora końcowego zapewnia stałą, dużą przepustowość
  • Koncepcja wielu użytkowników (nieograniczona liczba kont użytkowników i receptur, przypisywane prawa dostępu, różne języki interfejsu użytkownika)
  • Inteligentna kontrola procesu i funkcja analizy danych