Opis:

System SRO-706 może być stosowany do termicznych i elektrycznych aktywacji gettera w zastosowaniach badawczo-rozwojowych i liniach produkcyjnych. Podstawą systemu Getter jest sprawdzony próżniowy piec rozpływowy IR serii SRO-706. Typowe zastosowania to hermetyzacja obudów kowarowymi przykrywkami lub okienkami optycznymi dla żyroskopów, mikrobolometrów i różnych czujników MEMS w warunkach wysokiej próżni poprzez zastosowanie termicznej i / lub elektrycznej aktywacji gettera.

Dzięki sprawdzonemu podejściu do bezpośredniego ogrzewania promiennikami podczerwieni, ATV stosuje dla systemu SRO-706 Getter górne i dolne ogrzewanie. Układy lamp IR są niezależnie monitorowane i kontrolowane jako 2 oddzielne strefy grzewcze. Skutkuje to doskonałą równomiernością ogrzewania w próżni po osiągnięciu maksymalnej temperatury 450 ° C podczas termicznego procesu aktywacji gettera. Gdy zastosowany jest proces elektrycznej aktywacji gettera, można uzyskać moc 20 W na obudowę. W obu przypadkach temperatura czujnika lub chipa pozostaje poniżej 100 ° C podczas procesu aktywacji gettera. Opcjonalnie można dodać spektrometr mas do analizy gazu resztkowego podczas procesu hermetyzacji.

Dzięki specjalnemu oprzyrządowaniu dla każdej przetwarzanej obudowy uzyskuje się precyzyjne centrowanie obudowy / wieczka. W zależności od rozmiaru obudowy, załadowanie na cykl może sięgać do 28 przyrządów. Aby osiągnąć wielokrotnie wyższą przepustowość, można zastosować system zintegrowany z systemem komór rękawicowych, obejmującym kilka pieców do procesu. W przypadku korzystania z opcji komory rękawej ATV może zagwarantować, że proces można przeprowadzić w suchej i wolnej od tlenu atmosferze.