VELION FIB-SEM instrument
Producent:
Raith GmbH
Zastosowania:
Mikroelektronika półprzewodnikowa
Nanotechnologia
Kategoria:
Urządzenia do litografii wiązką jonów
Opis:
Nano wytwarzanie przy pomocy centrycznej kolumny FIB
VELION to nowatorski instrument FIB-SEM, w którym nano wytwarzanie za pomocą wiązki skupionych jonów( FIB) rozwinęło się w standardową technologię wytwarzania trójwymiarowych i wysokorozdzielczych nanostruktur, takich jak urządzenia plazmoniczne, systemy nano przepływowe, zlokalizowana implantacja i funkcjonalizacja.
Dzięki wyjątkowej konfiguracji pionowej kolumny FIB i dołączonej kolumnie SEM, w połączeniu z uchwytem do próbek ze zintegrowanym interferometrem laserowym firmy Raith oraz zaawansowaną technologią litograficzną, VELION bezsprzecznie wykorzystuje FIB, jako wiodącą technologię. Specjalna architektura systemu nano wytwarzania zapewnia niezrównaną stabilność, dokładność i automatyzację. Nawet najbardziej złożone konstrukcje mogą być wykonane z najwyższą precyzją, całkowicie bez nadzoru przez wiele godzin.
Nowy system VELION ze swoją innowacyjną konfiguracją oferuje:
- Bezpośrednie i uniwersalne wytwarzanie wzorów przy zastosowaniu skupionej wiązki jonów (FIB) dla uproszczonego, elastycznego, trójwymiarowego i automatycznego przetwarzania
- Najwyższą precyzję i powtarzalność nano wytwarzania na wydłużonych obszarach i okresach czasu
- Obrazowanie SEM do kontroli procesu in-situ, inspekcji i przygotowania próbek