Opis:

Nano wytwarzanie przy pomocy centrycznej kolumny FIB

VELION to nowatorski instrument FIB-SEM, w którym nano wytwarzanie za pomocą wiązki skupionych jonów( FIB) rozwinęło się w standardową technologię wytwarzania trójwymiarowych i wysokorozdzielczych nanostruktur, takich jak urządzenia plazmoniczne, systemy nano przepływowe, zlokalizowana implantacja i funkcjonalizacja.

Dzięki wyjątkowej konfiguracji pionowej kolumny FIB i dołączonej kolumnie SEM, w połączeniu z uchwytem do próbek ze zintegrowanym interferometrem laserowym firmy Raith oraz zaawansowaną technologią litograficzną, VELION bezsprzecznie wykorzystuje FIB, jako wiodącą technologię. Specjalna architektura systemu nano wytwarzania zapewnia niezrównaną stabilność, dokładność i automatyzację. Nawet najbardziej złożone konstrukcje mogą być wykonane z najwyższą precyzją, całkowicie bez nadzoru przez wiele godzin.

Nowy system VELION ze swoją innowacyjną konfiguracją oferuje:

• Bezpośrednie i uniwersalne wytwarzanie wzorów przy zastosowaniu skupionej wiązki jonów (FIB) dla uproszczonego, elastycznego, trójwymiarowego i automatycznego przetwarzania
• Najwyższą precyzję i powtarzalność nano wytwarzania na wydłużonych obszarach i okresach czasu
• Obrazowanie SEM do kontroli procesu in-situ, inspekcji i przygotowania próbek